LuphoScan系統(tǒng)能夠?yàn)楦哔|(zhì)量的光學(xué)表面3D形狀測(cè)量提供*佳效益：

*對(duì)任何旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的表面的深入分析： 非球面、球面、平面和自由曲面

*超高、可重復(fù)精度：≦±50nm

*可測(cè)量任何材料：透明、鏡面、不透明、拋光、研磨

*大球面的偏離： 不受限制。例如：能夠測(cè)量盤(pán)式或者鷗翼表面，以及彎曲點(diǎn)的輪廓

*大斜坡： 可達(dá)90°（例：半球測(cè)量）

*高靈活度：測(cè)量局部面、環(huán)形光學(xué)透鏡、矩形表面、衍射面結(jié)構(gòu)表面、錐透鏡

*完整透鏡特征：透鏡厚度、楔形誤差、偏心誤差、透鏡安裝位置

*直徑：120mm、260mm或者420mm

*高速測(cè)量：

例：1:58分（￠=30mm,Roc=60mm,100點(diǎn)/mm2）

或者5:29分（￠=130mm,Roc=150mm,50點(diǎn)/mm2）

LuphoScan測(cè)量平臺(tái)上被測(cè)物傳感器的移動(dòng)軸                   The LuphoScan測(cè)量平臺(tái)

基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)的光學(xué)計(jì)量應(yīng)用

特征

與其設(shè)計(jì)非球面的形狀偏差

特殊的基準(zhǔn)概念能夠提供 *高精度測(cè)量

測(cè)量精度

該系統(tǒng)使用了復(fù)雜的參考傳感器以及特殊的基準(zhǔn)框架概念，能夠確保*高精度的測(cè)量結(jié)果，精度可在±50nm(2σ)以上。

基準(zhǔn)框架概念

每一臺(tái)LuphoScan測(cè)量平臺(tái)均由殷鋼基準(zhǔn)框架組成，這是一種開(kāi)放式回路技術(shù)框架。三個(gè)參考傳感器和一個(gè)圓柱軸、兩個(gè)平面反射鏡能夠確保在框架內(nèi)物體傳感器的位置。根據(jù)阿貝（Abbe）原理，這一概念能夠?qū)C(jī)械軸R、Z、T**階誤差進(jìn)行補(bǔ)償?；鶞?zhǔn)框架概念與極高精度的多波長(zhǎng)干涉技術(shù)（MWLI®）相結(jié)合，超高精度C軸臺(tái)能夠確保形狀測(cè)量精度高于±50nm(2σ)，并且重復(fù)測(cè)量精度高于±20nm (2σ).

光學(xué)透鏡放置

測(cè)量平臺(tái)的默認(rèn)設(shè)置配有液壓膨脹夾具，可直接對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中夾具上的透鏡進(jìn)行測(cè)量。將所要測(cè)量的透鏡安裝好，緊固在膨脹夾具上，啟用之前設(shè)置好的測(cè)量程序，然后開(kāi)始測(cè)量。整個(gè)過(guò)程僅需要不到一分鐘的時(shí)間。此解決方案的精度調(diào)整適用于對(duì)于所有標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量情況，能夠?qū)颖緝A斜和移位進(jìn)行自動(dòng)識(shí)別和校正。未鑲邊框的透鏡可以使用三爪夾具（可選）安裝。

校準(zhǔn)

所有所需的參考物體都包括在內(nèi)。校準(zhǔn)程序過(guò)程中，用戶可控制操作平臺(tái)對(duì)溫度適應(yīng)的變化。完整的校準(zhǔn)過(guò)程大約需要15分鐘左右。

圖：

基準(zhǔn)框架

花崗巖基座

   基準(zhǔn)框架、傳感器臺(tái)(R, Z,T)布局圖和物體臺(tái)(C)

                        LuphoScan軟件屏幕截圖

直觀軟件設(shè)計(jì)便于操作和數(shù)據(jù)分析

數(shù)據(jù)輸入與測(cè)量過(guò)程

LuphoScan測(cè)量平臺(tái)配有的軟件能夠用于控制整個(gè)系統(tǒng)，包括預(yù)設(shè)測(cè)量程序、分析測(cè)量結(jié)果和打印測(cè)試報(bào)告。開(kāi)始測(cè)量時(shí)，需要輸入一個(gè)關(guān)于測(cè)量表面描述，例如：輸入曲率半徑、圓錐常數(shù)或者測(cè)試部件的偶次或奇次非球面系數(shù)。隨后軟件會(huì)顯示被測(cè)物傳感器軌跡，能夠直接檢測(cè)是否輸入了正確的描述。此外，該軟件還能對(duì)SAG表格提供*為直接的對(duì)比方法。用戶可對(duì)數(shù)據(jù)空間分辨率進(jìn)行調(diào)節(jié)，程序能夠?qū)Υ颂峁p少測(cè)量時(shí)間的*佳辦法。測(cè)量過(guò)程中，屏幕還會(huì)顯示剩余測(cè)量時(shí)間。

數(shù)據(jù)分析

當(dāng)一次測(cè)量結(jié)束后，會(huì)直接顯示誤差圖的三維影像和剖面圖。同時(shí)還提供不同的工具選擇對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。傾斜和偏移補(bǔ)償，以及*佳擬合減法（球面或者非球面）能夠分別開(kāi)啟和關(guān)閉。其它更多功能還包括光圈的精密調(diào)整，以及不同濾波器的選擇，例如低通濾波器或者高通濾波器。濾波器能夠消除由塵埃顆粒帶來(lái)的波峰等等。得出的數(shù)據(jù)可用于解釋拋光或者研磨后的表面（測(cè)量后）。誤差可以用垂直于理想表面或者平行于光軸的方式來(lái)表述。當(dāng)然，還能夠顯示所有標(biāo)準(zhǔn)的參數(shù)，包括Power、PV, RMS和Zernicke等的數(shù)值。

數(shù)據(jù)導(dǎo)出

測(cè)量數(shù)據(jù)能夠以3D形式或者2D輪廓線顯示出來(lái)。除此之外，本機(jī)軟件形式X、Y、Z、dN或者dZ (3D)、X、Z、dN或者dZ (2D)等多種形式可供使用。例如，數(shù)據(jù)能夠通過(guò)Zygos MetroPro XYZ形式(3D)和Taylor Hobsons MOD和PRF形式(2D)導(dǎo)出。這些形式能夠直接用于生產(chǎn)線，例如：對(duì)拋光過(guò)程進(jìn)行修正。

應(yīng)用

LuphoScan技術(shù)能夠發(fā)揮*大靈活性

主要應(yīng)用領(lǐng)域

LuphoScan測(cè)量系統(tǒng)用于測(cè)量可旋轉(zhuǎn)的對(duì)稱表面的3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，例如凹面球面透鏡和凸面球面透鏡。測(cè)量工作臺(tái)的設(shè)計(jì)能夠確保測(cè)量大多數(shù)的透鏡,而不受任何球形偏離、罕見(jiàn)頂端形狀（平頭）、傾斜或者反射點(diǎn)圖的限制。在標(biāo)準(zhǔn)操作模式下，需要提供測(cè)試表面的理論描述，這些描述一般取決于曲面半徑、圓錐形常數(shù)以及球面系數(shù)（偶次與奇次）。測(cè)量平臺(tái)軟件包默認(rèn)設(shè)置包含了拋光和粗磨元件的測(cè)量。

粗磨透鏡

獨(dú)特的多波長(zhǎng)干涉技術(shù)（MWLI）能夠?qū)崿F(xiàn)粗糙表面（如粗磨透鏡）的測(cè)量。同一測(cè)量平臺(tái)能夠滿足從 毛坯到超高精度頭透鏡的各項(xiàng)指標(biāo)的測(cè)量。

特殊形狀

盡管儀器專為測(cè)量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱部件而設(shè)計(jì)的，但其仍舊能夠測(cè)量偏差較小的球面、非球面或者平面等自由表面部件。例如橢圓體的X射線透鏡或者光束整形元件。

更多應(yīng)用

除了標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量應(yīng)用外，還可以使用LuphoScan測(cè)量平臺(tái)的特殊擴(kuò)展工具LuphoSwap不同擴(kuò)展功能，來(lái)完成多種光學(xué)要素特征的測(cè)量(參見(jiàn)第8-9頁(yè))。該工具能夠輔助測(cè)量透鏡厚度，以及楔形與偏心誤差。除此之外，額外的附加軟件類型能夠直接測(cè)量間斷的透鏡，如分段表面包括矩形部件、環(huán)形透鏡、有衍射階量。梯的表面和錐透鏡(參考10-11頁(yè)的目錄)。

  局部透鏡測(cè)量

                           安裝了LuphoSwap透鏡夾具的LuphoScan 260

使用LuphoSwap擴(kuò)展功能完成對(duì)光學(xué)部件形狀誤差特性的測(cè)量

成就：

LuphoScan 260和LuphoScan 420測(cè)量平臺(tái)可以應(yīng)用LuphoSwap的擴(kuò)展功能，來(lái)對(duì)透鏡兩個(gè)表面的所有特征進(jìn)行連續(xù)的測(cè)量。一個(gè)特殊的測(cè)量概念能夠?qū)蓚€(gè)表面的測(cè)量結(jié)果相關(guān)聯(lián)起來(lái)。這個(gè)概念就是在測(cè)量形狀誤差的同時(shí)，LuphoSwap能夠確定透鏡兩側(cè)表面的**的厚度、楔形度和偏心度誤差以及旋轉(zhuǎn)定位。此外，還能夠確定透鏡底座位置。這個(gè)強(qiáng)大的軟件工具功能來(lái)自于LuphoSmart傳感器技術(shù)，一個(gè)獨(dú)特的概念模式，以及額外的（跳動(dòng)）基準(zhǔn)傳感器。

測(cè)量原理：

在標(biāo)準(zhǔn)的操作模式下，輸入兩側(cè)表面的理論描述（包括Roc、錐面常數(shù)和非球面常數(shù)）。所需測(cè)量的透鏡安裝在特殊的LuphoSwap底座上，然后可進(jìn)行**個(gè)表面的測(cè)量。隨后，放在透鏡的支架會(huì)被翻轉(zhuǎn)（如圖所示），開(kāi)始進(jìn)行另一個(gè)表面的測(cè)量。除標(biāo)準(zhǔn)掃描程序外，被測(cè)物傳感器會(huì)用于測(cè)量每個(gè)表面對(duì)于校準(zhǔn)的LuphoSwap支架的精準(zhǔn)定位。這樣軟件就能自動(dòng)定義所有的幾何參數(shù)（厚度）和被測(cè)透鏡的誤差（形狀、楔形度和偏心度）。因此，使用該軟件和使用標(biāo)準(zhǔn)LuphoScan測(cè)量平臺(tái)測(cè)量透鏡一樣容易。

測(cè)量精度

從0到90度角度的錐透鏡非球面衍射透鏡環(huán)形球面

通過(guò)軟件附加項(xiàng)增強(qiáng)測(cè)量的靈活性

模式1:局部透鏡

此模式用于測(cè)量局部透鏡，例如矩形透鏡。測(cè)量平臺(tái)能夠控制位移臺(tái)確保連續(xù)的螺旋式掃描，并能夠自動(dòng)識(shí)別和忽略來(lái)自非被測(cè)物體的信號(hào)。

?基礎(chǔ)面形狀:非球面、球面、平面

?形狀測(cè)量精度: ±50nm(2σ)

?自動(dòng)化表面屏蔽

?可與“環(huán)形透鏡”和“錐透鏡”模式相結(jié)合使用

局部非球面與設(shè)計(jì)曲面的偏差

LuphoScan測(cè)量平臺(tái)的幾個(gè)附加軟件功能能夠?qū)Σ煌愋?、非連續(xù)的光學(xué)透鏡進(jìn)行直接測(cè)量。這些測(cè)量模式主要基于完整的多波長(zhǎng)干涉技術(shù)（MWL1）。它們能夠進(jìn)行局部透鏡、環(huán)形透鏡、錐透鏡、圓錐體和非球面衍射透鏡的3D測(cè)量。每個(gè)測(cè)量模式都配有復(fù)雜的數(shù)據(jù)分析工具。此外，所有標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)選項(xiàng)都可選。當(dāng)然，所有能使用LuphoScan測(cè)量平臺(tái)測(cè)量的材料都可用這些測(cè)量模式。

的幾個(gè)附加軟件功能能夠?qū)Σ煌愋汀⒎沁B續(xù)的光學(xué)透鏡進(jìn)行直接測(cè)量。這些測(cè)量模式主要

非球面局部透鏡測(cè)量